伺服閥的故障常常在電液伺服系統調試或工作不正常情況下發現的。所以這里有時是系統問題包括放大器、反饋機構、執行機構等故障，有時確是伺服閥問題。所以首先要搞清楚是系統問題、還是伺服閥問題。解決這疑問的常用辦法是：一、有條件的將閥卸下，上實驗臺復測一下即可。二、大多數情況無此條件，這時一個簡單的辦法是將系統開環，備用獨立直流電源、經萬用表再給伺服閥供正負不同量值電流，從閥的輸出情況來判斷閥是否有毛病，是什么毛病。閥問題不大，再找系統問題，例如：執行機構的內漏過大，會引起系統動作變慢，滯環嚴重、甚至不能工作;反饋信號斷路或失常等等，放大器問題有輸出信號畸變或不工作，下面主要談談閥的故障。
(1)閥不工作
原因有：馬達線圈斷線，脫焊;還有進油或進出油口接反。再有可能是前置級堵塞，使得閥芯正好卡在中間死區位置，閥芯卡在中間位置當然這種幾率較少。馬達線圈串聯或并聯兩線圈接反了，兩線圈形成的磁作用力正好抵消。
(2)閥有一固定輸出，但已失控
原因：前置級噴嘴堵死，閥芯被贓物卡著及閥體變形引起閥芯卡死等，或內部保護濾器被贓物堵死。要更換濾芯，返廠清洗、修復。
(3)閥反應遲鈍、響應變慢等
原因：有系統供油壓力降低，保護濾器局部堵塞，某些閥調零機構松動，及馬達另部件松動，或動圈閥的動圈跟控制閥芯間松動。系統中執行動力元件內漏過大，又是一個原因。此外油液太臟，閥分辨率變差，滯環增寬也是原因之一。
(4)系統出現頻率較高的振動及噪聲
原因：油液中混入空氣量過大，油液過臟;系統增益調的過高，來自放大器方面的電源噪音，伺服閥線圈與閥外殼及地線絕緣不好，是通非通，顫振信號過大或與系統頻率關系引起的諧振現象，再則相對低的系統而選了過高頻率的伺服閥。
